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高纯三氟化硼-11和高纯三氯化硼-11(纯度 99.999%以上)

产品介绍

     三氟化硼(11BF3)等气体可以通过外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等关键工艺使硅材料(晶圆基底材料)具备半导体等光电性能,它决定了集成电路、半导体材料的性能、集成度、成品率,被称为半导体集成电路制造的“粮食”或“源”。还广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器等领域。

质量指

项目 指标
11BF3 ≥99.999%
CO <0.5ppm
CO2 <0.5ppm
N2 <1ppm
O2 <3ppm
SiF4 <2ppm
SO2 <2ppm
硫酸盐(Sulfates) <0.5ppm
THC(以甲烷计) <0.5ppm

应用领域

     广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等领域。

 

 

 





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